MIDAS-I-SF6 | Honeywell Мидас® сера гексафторид ppm SF₆
MIDAS-I-SF6 — это инфракрасный картридж Honeywell Midas® для гексафторида серы (SF₆), диапазон ppm SF₆, IR. Он подключается к экстракционному передатчику MIDAS-T-004 — не к диффузионной головке Sensepoint XCD. Линия проб достигает 30 м FEP при ~500 мл/мин.
Механические и электрические схемы
Загрузки
Английский технический листАнглийское техническое руководствоКитайский даташитКитайское руководство по эксплуатацииРасшифровка артикула
| Сегмент | Значение | Этот артикул |
|---|---|---|
| MIDAS | Honeywell Midas® экстрактивный | MIDAS |
| I | IR картридж | I |
| SF6 | гексафторид серы | SF6 |
Характеристики
| Категория | ИК-кассета |
|---|---|
| Газ | SF₆ / гексафторид серы |
| Диапазон | ppm SF₆ |
| Принцип | IR |
| Поток | примерно 500 мл/мин |
| Длина образца | 2–30 м FEP |
| Поставка | 24 ВDC или PoE 48 В |
| Выходы | 0–21 мА 3 реле Modbus TCP/PoE |
| Температура | 0–40 °C (0–30 °C с пиролизером) |
| Размер / масса | 150×65×153 мм / 0,8 кг |
| Одобрения | CE, EN 50270, UL 61010-1, IEEE 802.3af |
Передатчик 150×65×153 мм / 0,8 кг; NF₃ пиролизер 70×63×85 мм / 0,41 кг; пиролизер PFC высокой температуры 100×101×140 мм / 1,36 кг.
Зачем этот артикул
Midas является извлекающим: ячейка находится в шкафу инструмента, пока FEP забирает пробу из корпуса клапанов. Шестифторид серы использует ИК-метод. Пиролизованные виды требуют MIDAS-T-00P / T-HTP / T-NP1, иначе картридж не будет считывать.
Совместимость и ЗИП
MIDAS-I-SF6 подходит к MIDAS-T-004. Насос MIDAS-A-007, внутренний фильтр MIDAS-A-009. Не заменяйте электромеханический картридж для этой ИК-ячейки. Заметки по калибровке действительны product-2679.
Типовые применения
Газовые шкафы, VMB, влажные стенды и выхлоп CVD/травления. MIDAS-I-SF6 фиксирует срок службы газа и картриджа; бюджетный передатчик, насос A-007 и внутренний фильтр A-009 на PM-цикле.
Сравнение
| P/N | Тип | Газ | Диапазон |
|---|---|---|---|
| MIDAS-T-004 | Экстрактивный преобразователь | MIDAS-T-004 | — |
| MIDAS-I-CO2 | ИК-кассета | CO₂ | 0–2,0 % об. |
| MIDAS S2-I-CH2 | ИК-кассета | CH₂F₂ | ppm CH₂F₂ |
| MIDAS S2-I-CH3 | ИК-кассета | CH₃F | ppm CH₃F |
| MIDAS S2-I-CO2 | ИК-кассета | CO₂ | 0–2,0 % об. |
| MIDAS S2-I-SF6 | ИК-кассета | SF₆ | ppm SF₆ |
| MIDAS-I-COS | ИК-кассета | COS | ppm COS |
Монтаж и линия отбора
Настенное крепление MIDAS-T-004 на предварительно просверленном шасси или наборе DIN A-036, затем вставьте MIDAS-I-SF6. Образец 1/8″ID×1/4″OD FEP до 30 м; выпуск 1/4″ID×3/8″OD до 30 м. Конечный фильтр 0780248 или 1830-0055/0027 по газу. 24 В DC (−15%/+10%) или PoE 48 В; нагрузка пиролизера до 12.95 Вт. 0–40 °C, 0–30 °C с пиролизером.
FAQ
- Взаимозаменяемо с Sensepoint XCD?
- Нет. Пневматика, механика и системы P/N различаются.
- Как выбрать запасные части?
- Сопоставьте код газа и префикс S/E/IR в матрице семейства; заменители визуально похожие не подходят.
- Срок поставки?
- Запросите полное P/N MIDAS-I-SF6; наличие товара ограничено лотом.
- MIDAS-I-SF6 нуждается в пиролизере?
- Газы, отмеченные ** (CH₂F₂, C₄F₆, C₅F₈, NF₃, CH₃F), требуют MIDAS-T-00P / T-HTP / T-NP1 плюс вентиляционную крышку.
- Где находятся документы?
- Ссылки на datasheet/руководство на страницах артикула и хаба.
Документы
Паспорт изделия PDF · Китайское руководство · Английское техническое руководство · Матрица семейства Midas
Цена и срок
Склад и срок — по партии. Нет кассеты E — смотрите S на тот же газ. Для пиролизных газов заказывайте пиролизёр вместе с преобразователем.
Наличие и запрос
Наличие: нет на складе — принимаем заказы; срок поставки около 16 недель. Укажите полный артикул MIDAS-I-SF6, газ/диапазон и сертификацию.