MIDAS-S-HFX | Honeywell Midas® HF / BF₃ / WF₆ / NF₃(00P) HF 0–12 ppm
MIDAS-S-HFX — это 1-летняя S-картридж Honeywell Midas® для HF / BF₃ / WF₆ / NF₃(00P) (семейство HF), диапазон HF 0–12 ppm, электрохимический пиролизер для NF₃. Он подключается к извлекающему передатчику MIDAS-T-004 — не к диффузионной головке Sensepoint XCD. Линия отбора проб до 30 м FEP при ~500 мЛ/мин.
Механические и электрические схемы
Загрузки
Английский технический листАнглийское техническое руководствоКитайский даташитКитайское руководство по эксплуатацииРасшифровка артикула
| Сегмент | Значение | Этот артикул |
|---|---|---|
| MIDAS | Honeywell Midas® экстрактивный | MIDAS |
| S | 1 годовой картридж | S |
| HFX | HF / BF₃ / WF₆ / NF₃(00P) | HFX |
Характеристики
| Категория | Кассета · 1 год |
|---|---|
| Газ | Семейство HF / HF / BF₃ / WF₆ / NF₃(00P) |
| Диапазон | HF 0–12 ppm |
| Принцип | электрохимический пиролизер для NF₃ |
| Поток | примерно 500 мл/мин |
| Длина образца | 2–30 м FEP |
| Поставка | 24 ВDC или PoE 48 В |
| Выходы | 0–21 мА 3 реле Modbus TCP/PoE |
| Температура | 0–40 °C (0–30 °C с пиролизером) |
| Размер / масса | 150×65×153 мм / 0,8 кг |
| Одобрения | CE, EN 50270, UL 61010-1, IEEE 802.3af |
Передатчик 150×65×153 мм / 0,8 кг; NF₃ пиролизер 70×63×85 мм / 0,41 кг; пиролизер PFC высокой температуры 100×101×140 мм / 1,36 кг.
Зачем этот артикул
Midas является экстрактивным: элемент находится в шкафу с оборудованием, в то время как FEP забирает образец из клапанного блока. HF / BF₃ / WF₆ / NF₃(00P) использует электрохимический пиролизер для NF₃. Пиролизованные вещества требуют MIDAS-T-00P / T-HTP / T-NP1, иначе картридж не будет считывать.
Совместимость и ЗИП
MIDAS-S-HFX подходит к MIDAS-T-004. Насос MIDAS-A-007, внутренний фильтр MIDAS-A-009. Картридж на тот же газ с 2-летней гарантией является долгоживущим аналогом. Заметки по калибровке сохраняются product-2679.
Типовые применения
Газовые шкафы, VMB, влажные скамьи и вытяжка CVD/травления. MIDAS-S-HFX блокирует газ и срок службы картриджа; бюджетный передатчик, насос A-007 и внутренний фильтр A-009 в цикле ТО.
Сравнение
| P/N | Тип | Газ | Диапазон |
|---|---|---|---|
| MIDAS-E-HFX | Кассета · 2 года | Семейство HF | HF 0–12 ppm |
| MIDAS-T-004 | Экстрактивный преобразователь | MIDAS-T-004 | — |
| MIDAS-A-009 | ЗИП | MIDAS-A-009 | — |
| MIDAS-S-ASH | Кассета · 1 год | AsH₃/GeH₄ | AsH₃ 0–200 ppb / GeH₄ 0–800 ppb |
| MIDAS-S-B2H | Кассета · 1 год | B₂H₆ | 0–400 ppb |
| MIDAS-S-BR2 | Кассета · 1 год | Br₂/ClO₂ | 0–0,4 ppm |
| MIDAS-S-CFX | Кассета · 1 год | PFC | 0–40 ppm |
Монтаж и линия отбора
Настенное крепление MIDAS-T-004 на предсверленный шасси или DIN-кит A-036, затем вставьте MIDAS-S-HFX. Образец 1/8″ID×1/4″OD FEP до 30 м; выпуск 1/4″ID×3/8″OD до 30 м. Концевой фильтр 0780248 или 1830-0055/0027 по газу. 24 В DC (−15% / +10%) или PoE 48 В; нагрузка пиролизера до 12,95 Вт. 0–40 °C, 0–30 °C с пиролизером.
FAQ
- Как выбрать запасные части?
- Сопоставьте код газа и префикс S/E/IR в матрице семейства; заменители визуально похожие не подходят.
- Использование на открытой площадке?
- Цели Midas — экстрактивные / инструментальные шкафы; для диффузии на открытой площадке выберите другую серию.
- Примечания по установке?
- Учтите трубки для образцов, поток и утечки; проветривание/вытяжка согласно руководству.
- Интервал калибровки?
- Следуйте местным нормам и рекомендациям OEM с сертифицированным газом.
- Менять газ на месте?
- Обычно заменяют соответствующий картридж и перекалибровывают; для некоторых газов требуется пиролизатор.
Документы
Паспорт изделия PDF · Китайское руководство · Английское техническое руководство · Матрица семейства Midas
Цена и срок
Склад и срок — по партии. Нет кассеты E — смотрите S на тот же газ. Для пиролизных газов заказывайте пиролизёр вместе с преобразователем.
Наличие и запрос
Наличие: нет на складе — принимаем заказы; срок поставки около 16 недель. Укажите полный артикул MIDAS-S-HFX, газ/диапазон и сертификацию.