MIDAS-S-SHX | Honeywell Midas® силан / disilane 0–20 ppm
MIDAS-S-SHX — это Honeywell Midas® 1-летний картридж S для силана / дисилана (SiH₄), диапазон 0–20 ppm, электрохимический. Он подключается к экстракционному передатчику MIDAS-T-004 — а не к диффузионной головке Sensepoint XCD. Линия образцов достигает 30 м FEP при ~500 мл/мин.
Механические и электрические схемы
Загрузки
Английский технический листАнглийское техническое руководствоКитайский даташитКитайское руководство по эксплуатацииРасшифровка артикула
| Сегмент | Значение | Этот артикул |
|---|---|---|
| MIDAS | Honeywell Midas® экстрактивный | MIDAS |
| S | 1 годовой картридж | S |
| SHX | силан / дисилан | SHX |
Характеристики
| Категория | Кассета · 1 год |
|---|---|
| Газ | SiH₄ / силан / дисилан |
| Диапазон | 0–20 ppm |
| Принцип | электрохимический |
| Поток | примерно 500 мл/мин |
| Длина образца | 2–30 м FEP |
| Поставка | 24 ВDC или PoE 48 В |
| Выходы | 0–21 мА 3 реле Modbus TCP/PoE |
| Температура | 0–40 °C (0–30 °C с пиролизером) |
| Размер / масса | 150×65×153 мм / 0,8 кг |
| Одобрения | CE, EN 50270, UL 61010-1, IEEE 802.3af |
Передатчик 150×65×153 мм / 0,8 кг; NF₃ пиролизер 70×63×85 мм / 0,41 кг; пиролизер PFC высокой температуры 100×101×140 мм / 1,36 кг.
Зачем этот артикул
Midas является извлекающим: ячейка находится в шкафу инструмента, пока FEP забирает пробу из корпуса клапанов. Силан / дисилан использует электрохимический метод. Пиролизованные виды требуют MIDAS-T-00P / T-HTP / T-NP1, иначе картридж не будет считывать.
Совместимость и ЗИП
MIDAS-S-SHX соединяется с MIDAS-T-004. Насос MIDAS-A-007, внутренний фильтр MIDAS-A-009. Картридж E на 2 года с тем же газом является долгосрочной версией. Примечания к калибровке сохраняются product-2679.
Типовые применения
Газовые шкафы, VMB, рабочие столы с влажной обработкой и вытяжка CVD/травления. MIDAS-S-SHX блокирует подачу газа и срок службы картриджа; трансмиттер бюджета, насос A-007 и внутренний фильтр A-009 по циклу ПМ.
Сравнение
| P/N | Тип | Газ | Диапазон |
|---|---|---|---|
| MIDAS-E-SHX | Кассета · 2 года | SiH₄ | 0–20 ppm |
| MIDAS-T-004 | Экстрактивный преобразователь | MIDAS-T-004 | — |
| MIDAS-A-009 | ЗИП | MIDAS-A-009 | — |
| MIDAS-S-ASH | Кассета · 1 год | AsH₃/GeH₄ | AsH₃ 0–200 ppb / GeH₄ 0–800 ppb |
| MIDAS-S-B2H | Кассета · 1 год | B₂H₆ | 0–400 ppb |
| MIDAS-S-BR2 | Кассета · 1 год | Br₂/ClO₂ | 0–0,4 ppm |
| MIDAS-S-CFX | Кассета · 1 год | PFC | 0–40 ppm |
Монтаж и линия отбора
Настенный монтаж MIDAS-T-004 на предварительно просверленном шасси или комплект DIN-набора A-036, затем вставьте MIDAS-S-SHX. Образец FEP 1/8"ID×1/4"OD до 30 м; выпускной канал 1/4"ID×3/8"OD до 30 м. Фильтр в конце линии 0780248 или 1830-0055/0027 газом. 24 VDC (−15%/ 10%) или PoE 48 V; пиролизерная нагрузка до 12,95 W. 0–40 °C, 0–30 °C с пиролизером.
FAQ
- Может ли MIDAS-S-SHX подключаться к Sensepoint XCD?
- Нет. Midas — экстрактивный картридж; XCD — корпус диффузионного сенсора. Они не совместимы.
- Как выбрать запасные части?
- Сопоставьте код газа и префикс S/E/IR в матрице семейства; заменители визуально похожие не подходят.
- Взаимозаменяемо с Sensepoint XCD?
- Нет. Пневматика, механика и системы P/N различаются.
- Нужен ли MIDAS-S-SHX пиролизер?
- Газы, отмеченные ** (CH₂F₂, C₄F₆, C₅F₈, NF₃, CH₃F), требуют MIDAS-T-00P / T-HTP / T-NP1 плюс вентиляционную крышку.
- Где находятся документы?
- Ссылки на datasheet/руководство на страницах артикула и хаба.
Документы
Паспорт изделия PDF · Китайское руководство · Английское техническое руководство · Матрица семейства Midas
Цена и срок
Склад и срок — по партии. Нет кассеты E — смотрите S на тот же газ. Для пиролизных газов заказывайте пиролизёр вместе с преобразователем.
Наличие и запрос
Наличие: нет на складе — принимаем заказы; срок поставки около 16 недель. Укажите полный артикул MIDAS-S-SHX, газ/диапазон и сертификацию.